PEEKを使用した製品事例

半導体関連CMP装置のポリエーテルエーテルケトン製ウエハーホールディングリングです。

半導体関連CMP装置のポリエーテルエーテルケトン製ウエハーホールディングリングです。

半導体関連CMP装置のポリエーテルエーテルケトン製ウエハーホールディングリングです。ビクトレックス社のPEEK材を使用。ウエハー製造工程では、高 温と強い化学薬品にさらされるため耐熱性と耐薬品性が求められまた、ウエハーの汚染を防止する為、高純度性が要求されます。検査では三次元測定器で計測 し、内径の最大最小値を管理してます。
産業分野 半導体 加工方法 マシニング加工、旋盤加工

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PEEKの一口メモ

PEEK樹脂の持つ機械的強度、強靭性、成形性を活かして、例えば、英ダイソン社のサイクロン型掃除機のインペラーに採用された。また、耐クリープ性、耐磨耗性、高い機械強度を持つことから携帯電話のヒンジとスライドガイドレールに使われている。さらに、高い耐熱性が評価されてリフロー時の温度が高いPbフリーのハンダ付けを行う電子部品用途にも採用され始めている。

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